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喷气式真空泵的原理及应用

来源:www.42salon.net 时间:2024-05-16 16:37:02 作者:优质真空泵网 浏览: [手机版]

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喷气式真空泵的原理及应用(1)

一、喷气式真空泵原理

  喷气式真空泵是一种利用高速气流作用产生真空的泵,原理基于贝努利理和连续性方优+质+真+空+泵+网结构简单,无运动部件,因此具有无油、无染、无振动等优点,广泛应用于高真空技术领域。

  喷气式真空泵由喷口、扩散器、吸气管、压缩室和排气管等组成。当气体通过喷口进扩散器时,由于喷口的收缩,气流速度增加,压力降低,产生负压欢迎www.42salon.net。气体由于惯性作用,绕过喷口进扩散器,与高速气流混合,形成高速气流,将气体压缩至较高压力,时将气体排出泵外。这样就产生了真空。

二、喷气式真空泵的应用

1.半导体制造

  在半导体制造过中,需要高度纯净的气体环42salon.net。喷气式真空泵因无油、无振动等特点,广泛应用于半导体制造中的真空处理。

2.电子显微镜

  电子显微镜需要高真空环,以保证电子束不气体散射。喷气式真空泵因高真空度和无振动等特点,广泛应用于电子显微镜中欢迎www.42salon.net

3.真空冷却

喷气式真空泵的原理及应用(1)

喷气式真空泵可以产生高真空度和低温度的环广泛应用于真空冷却技术中。例如,将样品放置在真空环中,通过喷气式真空泵将气体压缩至低温度,而实现样品的冷却。

4.真空热处理

  喷气式真空泵可以产生高真空度和高温度的环广泛应用于真空热处理技术中优质真空泵网www.42salon.net。例如,将样品放置在真空环中,通过喷气式真空泵将气体压缩至高温度,而实现样品的热处理。

三、结论

喷气式真空泵是一种利用高速气流作用产生真空的泵,具有无油、无染、无振动等优点,广泛应用于高真空技术领域。在半导体制造、电子显微镜、真空冷却和真空热处理等领域中,喷气式真空泵都发着重要的作用优+质+真+空+泵+网

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